露光装置メーカーに関する調査

調査目的

本調査は、大手露光装置メーカーの特定需要分野における技術レベルについてヒアリングによって明らかにし、貴社の製品開発のための基礎資料とすることを目的とする。

調査方法

1. 対象事業者へのインタビュー調査

対象企業のキーマンへのヒアリング調査

2.外部公開情報による調査

新聞、専門誌、主要各社のニュースリリースなどオープン情報の収集・分析

調査対象先

大手露光装置メーカー 5社程度

調査項目

1.ヒアリング対応者の属性
2.自社の技術(製品)
3.自社の製品群
4.自社製品で採用している方式について(※主力製品カタログ・資料の入手)
5.ワークサイズ
6.ワークの種類
7.要求解像力(※今後必要になると予想している解像力とその理由のみ)
8.アライメント
9.光学部品
10.装置のメンテナンス
11.事業環境
12.今後の製品開発
13.その他
14.取材環境

調査期間

ご契約後30日

報告形態

日本語報告書

報告書の電子データ(Microsoft Word、Excel、PowerPoint、等)

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